Semiconductor Equipment

半導體Clean設備-LED取代汞燈管

痛點：

● 環保：

企業開始重視ESG(企業社會責任)- Environmental(環境保護)、Social(社會責任)、(公司治理)，原設備使用傳統255nm的汞燈管，主要功用是去除8吋晶圓上有機物，因應政府「執行聯合國汞水俣公約推動計畫」，自2021起，9 類含汞產品將禁止製造及進口，包括普通照明緊湊型及直管型螢光燈等。

● 壽命短：光效率衰減快速，平均只能使用約僅一年就需更換。

● 產能損失：汞燈管剛開燈時需要一段時間暖機，且因壽命短，需要定期停機更換燈管，造成產能損失。

散熱設計 : 經熱模擬評估需使用水冷散熱機構，晶片溫度(Tj)可降至60度。

焦點應用：

● 照度高均勻性：

此案將UVC LED做成燈條照射局部晶圓，再讓晶圓自旋，為讓晶圓整面的照度均勻性達到要求，Violumas設計出光反射結構與扇形出光開口，扇形光斑可以避免晶圓中心的光劑量高於邊緣。

● 清潔便利性：燈具表面以石英片覆蓋方便清潔。

散熱與避免落塵：此案瓦數以氣冷設計雖可以有效散熱，但因應半導體廠潔淨度問題，而改採用水冷散熱機構。

● 延長晶片使用壽命：採用水冷散熱，更低的晶片溫度延長了UVC LED的壽命，減短停機維修時間避免產能損失。